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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2019

    10-23

    某公司生產規模龐大,具備設備煤車間、煉焦車間、化產車間、固定資產4.79億元。主要產品是國家二級冶金焦炭、煤焦油、粗苯和外供煤氣,已形成年產二級冶金焦88萬噸、煤焦油4.65萬噸、粗苯1萬噸、年外供焦爐煤氣1.4億立方米的生產規模。一、干法熄焦技術介紹1、技術原理干法熄焦是目前國外較廣泛應用的一項節能技術,是利用冷的惰性氣體(燃燒后的廢氣),在干熄爐中與赤熱紅焦換熱從而冷卻紅焦。吸收了紅焦熱量的惰性氣體將熱量傳給干熄焦鍋爐產生蒸汽,被冷卻的惰性氣體再有循環風機鼓入干熄爐冷卻紅...

  • 2019

    10-23

    加熱爐是軋鋼生產線中的關鍵設備,要使其氧化燒損率低,加熱工序能耗低,就必須對加熱爐進行燃燒控制。而加熱爐燃氣介質的熱值,則是直接關系加熱質量及工序消耗的重要參數?,F以銳意自控的寬厚板生產線加熱爐為例,其加熱爐使用的燃料為高爐煤氣、焦爐煤氣及轉爐煤氣的混合煤氣,存在煤氣成分及熱值波動較大、較頻繁的情況,而且無準確的熱值參數等問題,給加熱爐燃燒控制帶來很大的困難,直接影響板坯加熱質量及氧化燒損率,導致煤氣消耗指標居高不下。因此,加熱爐燃氣介質的熱值是直接關系加熱質量及工序消耗的重...

  • 2019

    8-12

    在我國現階段,火力發電仍然占據著電力發展的重要位置?;痣姀S主要通過鍋爐燃燒產生電力,在提高燃料轉換電能的過程中,污染物和溫室氣體的排放不可避免,隨著國家對環境污染采取的一系列控制標準政策出臺,火電廠在優化鍋爐燃燒效率的同時,也需要利用微流低量程紅外氣體傳感器監測鍋爐排放的煙氣,降低污染物和氣體的排放,減少鍋爐燃燒中所帶來的環境危害。一、火電廠鍋爐燃燒優化的意義和關鍵鍋爐是火電運行中的為重要的設備之一,其燃燒性能的優劣直接影響到鍋爐的運行效率,從而影響到整個發電效率。研究鍋爐的...

  • 2019

    8-7

    沼氣是一種可再生的清潔能源,是由有機質如人、牲畜、家禽的糞便和秸稈、雜草、秕殼等在適宜的溫度、水分、濕度下形成厭氧環境,經過微生物的生長發育、繁殖代謝作用產生甲烷和二氧化碳、水蒸汽、硫化氫、一氧化碳、氮氣等可燃燒性的混合氣體,沼氣發酵就是厭氧消化或厭氧發酵的過程。沼氣監測系統在其中所起的作用不容忽視。在實際運行過程中,沼氣的發酵過程常常達不到預期的效果,會出現供氣不足、時斷時續、長期不產氣等現象,為確保沼氣工程正常產氣,以下將對沼氣發酵微生物這個核心因素進行說明。一、保持沼氣...

  • 2019

    8-5

    導語:鋼鐵冶煉是高耗能重污染行業,而燒結煙氣又是鋼鐵企業主要排放的大氣污染物,它約占整個鋼鐵企業排放總量的50%以上。隨著國家環保排放標準的不斷收緊和“十三五”期間實行污染物總量控制政策的影響,對燒結煙氣的治理將成為鋼鐵企業的重點工作。一、燒結煙氣治理的行業背景2018年5月,生態環境部發布了《鋼鐵企業超低排放改造工作方案》(征求意見稿),對國內鋼鐵企業的大氣污染治理提出更為嚴格的標準。其中重新規劃了對燒結煙氣污染物的排放限制規定,將燒結機頭煙氣、球團焙燒煙氣顆粒物、二氧化硫...

  • 2019

    5-16

    隨著鋼鐵產量的增長,鋼鐵工業能耗占全國總能耗的比重越來越高。加熱爐是軋鋼廠的主要耗能設備之一,其能耗占軋鋼工序能耗的60~70%,能耗水平直接影響軋鋼生產成本,因此降低加熱爐能耗是軋鋼節能的主要方向和目標。我國冶金行業軋鋼加熱爐幾千余座,包括今年新建或改造的蓄熱式加熱爐,在運行、使用過程或多或少地存在問題,其能耗水平相差很大,有的加熱爐單耗高達70~80kg/t,節能潛力十分巨大。因此,提高軋鋼加熱爐的能耗水平對鋼鐵企業的節能有著重要意義。一、軋鋼加熱爐的熱平衡分析燃料在鍋爐...

  • 2019

    4-26

    隨著焦化行業的發展,焦爐煤氣除部分返回焦爐加熱外,剩余主要作為城市煤氣,還有相當數量的焦爐煤氣會通過火炬燃燒放空。據估計每年約有350×108m3以上的焦爐煤氣未被有效利用而付之一炬,這不僅造成環境污染,還浪費了大量能源。根據焦爐煤氣的特點(含氫量高),我國焦化行業應進一步開發出符合企業特點的應用技術,進而實現煤氣資源的優化開發利用,增加焦爐煤氣的利用價值,增強煉焦行業的整體競爭力。近年來,我國焦爐煤氣利用程度不斷提高,在開發利用技術方面進行了一系列探索,本文總結出七種常用的...

  • 2019

    2-19

    加熱爐的是冶金行業的關鍵設備之一,加熱爐性能的好壞直接影響到產品質量的好壞,而加熱爐燃料是影響加熱爐性能的重要因素,因此根據生產需求合理控制、及時調整加熱爐燃料熱值、壓力、成份、流量等參數是提高加熱爐效率的有效措施。隨著河北省實施《煉焦化學工業大氣污染物超低排放標準》和《鋼鐵工業大氣污染物超低排放標準》,國家環保進入了嚴階段,鋼鐵熱處理領域也面臨了嚴厲挑戰。越來越多的焦爐被關停,焦爐煤氣正成為稀缺資源,沒有焦爐煤氣混合的高爐或轉爐煤氣熱值較低,很難安全燃燒,一直未能在高品質熱...

  • 2019

    1-31

    一、什么是“國六”汽車排放標準?“國家第六階段機動車污染物排放標準”包括《輕型汽車污染物排放限值及測量方法(*六階段)》(GB18352.6-2016)和《重型柴油車污染物排放限值及測量方法(*六階段)》(GB17691-2018)兩部分,是為貫徹《中華人民共和國環境保護法》《中華人民共和國大氣污染防治法》,防治壓燃式及氣體燃料點燃式發動機汽車排氣對環境的污染,保護生態環境,保障人體健康制定。二、新標何時在全國范圍內實施?輕型車“國六”汽車排放標準與重型柴油車“國六”汽車排放...

  • 2019

    1-31

    目前,我國畜禽養殖規?;蔬_到54%,畜禽糞污年產生量約38億噸,已經成為農業面源污染的主要來源。推進畜禽養殖廢棄物處理和資源化利用已成為國家重點關注的環保與民生問題。2017年,國家發展改革委會、農業農村部聯合發布《全國畜禽糞污資源化利用整縣推進項目工作方案(2018-2020年)》(下稱《方案》),2018年,農業農村部、財政部聯合發布《關于做好2018年畜禽糞污資源化利用項目實施工作的通知》(下稱《通知》),分別明確了政策實施要求、項目實施方案及相關補貼標準,隨著推進政...

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