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半導(dǎo)體行業(yè)微量氧分析儀的自主研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新

一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測的重要性與難點在半導(dǎo)體制造過程中,氧污染會引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進行嚴格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測主要面臨以下技術(shù)難點:需實現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測;需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運行。在眾多氣體檢測技術(shù)中,氧...

  • 2025

    1-7

    行業(yè)概述化工行業(yè)作為國家經(jīng)濟的重要支柱,涵蓋了天然氣化工、石油化工和煤化工等多個領(lǐng)域。據(jù)中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會最新數(shù)據(jù)顯示,2024年上半年,化工行業(yè)營業(yè)收入達到8萬億元,同比增長5.1%,而利潤總額為4294.7億元,同比下降1.6%。盡管營業(yè)收入有所增長,但利潤的下降反映出行業(yè)整體盈利能力有所減弱。因此,提質(zhì)增效成為化工行業(yè)提升經(jīng)濟效益的關(guān)鍵所在。近年來,國家發(fā)改委、工信部等相關(guān)部門制定了一系列與化工行業(yè)創(chuàng)新發(fā)展、綠色低碳轉(zhuǎn)型、節(jié)能降碳、安全生產(chǎn)等密切相關(guān)的重要文件和產(chǎn)...

  • 2024

    12-18

    隨著環(huán)保意識的增強和排放標(biāo)準(zhǔn)的提高,對工業(yè)排放煙氣的連續(xù)監(jiān)測變得越來越重要。煙氣排放連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)(CEMS)作為評估排放水平的關(guān)鍵技術(shù),其精確性和可靠性直接影響到政府環(huán)保決策和企業(yè)運營。在眾多CEMS技術(shù)中,熱濕法和冷干法是兩種主流的煙氣采樣和分析方法。本文將對這兩種技術(shù)進行比較分析。?熱濕法CEMS熱濕法CEMS是一種在煙氣分析過程中保持煙氣樣本原始溫度和濕度狀態(tài)的技術(shù),從而直接測量含水蒸氣的煙氣中的污染物濃度。與冷干法通過冷卻和干燥煙氣樣本以去除水分不同,熱濕法允許煙氣保...

  • 2024

    12-13

    快速在線多組分氣體檢測技術(shù)對各種工業(yè)過程控制至關(guān)重要。傳統(tǒng)的多組分氣體分析技術(shù)包括氣相色譜法、質(zhì)譜法和紅外吸收光譜法。氣相色譜儀的檢測速度太慢,質(zhì)譜儀過于精密且十分昂貴,紅外吸收光譜分析儀的可測量氣體種類非常有限,這三種傳統(tǒng)檢測設(shè)備均存在明顯缺陷,難以滿足工業(yè)過程控制的實際應(yīng)用需求。因此,在工業(yè)過程控制領(lǐng)域,迫切需要發(fā)展更加適用的多組分氣體檢測技術(shù)。四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”)自主研發(fā)的新一代產(chǎn)品LRGA-3200EX原位激光拉曼光譜氣體分析儀,具有測...

  • 2024

    12-11

    一、概述統(tǒng)一規(guī)范的碳排放核算體系是推進“雙碳"工作的關(guān)鍵基石,不論是碳市場配額交易及清繳、自愿減排市場的減排量認定,還是碳減排金融支持工具、環(huán)境信息披露中的碳排放情況,都必須以碳排放統(tǒng)計核算工作為基礎(chǔ)。否則,所有的碳減排政策工具效果都將大打折扣。碳排放自動監(jiān)測系統(tǒng)(CEMS)是一種用于實時監(jiān)測和自動核算碳排放量的技術(shù)系統(tǒng),能夠通過連續(xù)監(jiān)測煙氣中的CO2、CH4、N2O等濃度和流速來計算碳排放量。與傳統(tǒng)的核算法相比,CEMS實測法具有更高的測量精度和實時性,有助于更準(zhǔn)確地掌握企...

  • 2024

    11-13

    一、概述2024年9月9日,生態(tài)環(huán)境部辦公廳發(fā)布關(guān)于公開征求《全國碳排放權(quán)交易市場覆蓋水泥、鋼鐵、電解鋁行業(yè)工作方案(征求意見稿)》意見的函,水泥、電解鋁、鋼鐵三大行業(yè)將優(yōu)先納入全國碳交易市場,參與線上交易的企業(yè)將越來越來重視碳排放量的核算工作。對于許多CO2年排放量達幾百萬噸的大型企業(yè)來講,假設(shè)核算排放量數(shù)據(jù)差異為1%,按2023年全年碳均價68.15元/噸來算,將涉及百萬元的碳交易配額。目前,國際社會廣泛使用的碳排放量化方法主要分為基于核算的方法和實測法。基于核算的方法是...

  • 2024

    9-24

    SCR(選擇性催化還原)方法是目前火電、水泥、鋼鐵、焦化等企業(yè)脫硝的一種方法,在一定溫度(290~430℃)及催化劑的作用下,NOx和氨(NH3)反應(yīng)將NOx轉(zhuǎn)化為氨氣(N2)和水(H2O)以減少NOx排放。通常,NH3和NOx之間的反應(yīng)效率可大于95%未反應(yīng)的NH3則被稱為氨逃逸。氨逃逸不僅影響生產(chǎn)效率,更對環(huán)境和人體健康構(gòu)成潛在威脅。本文將從氨逃逸的影響、所涉及的重點行業(yè)與常見逃逸部位、氨逃逸監(jiān)測技術(shù)等方面對相關(guān)知識作出分享,感興趣的小伙伴們一起來看看吧~一、氨逃逸的影響...

  • 2024

    9-24

    近日,中國內(nèi)燃機工業(yè)協(xié)會(以下簡稱“協(xié)會”)發(fā)布了《中國內(nèi)燃機工業(yè)發(fā)展報告(2024版)》(以下簡稱《發(fā)展報告》)。這是自2010年起,協(xié)會連續(xù)第15年客觀記錄中國內(nèi)燃機工業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀,并預(yù)測未來發(fā)展趨勢。四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”),屹立于內(nèi)燃機測試設(shè)備行業(yè)前沿,受到了《發(fā)展報告》的特別關(guān)注和報道。與往年相比,2024版的《發(fā)展報告》更加強調(diào)節(jié)能減排、循環(huán)經(jīng)濟、燃料多樣性和嚴格執(zhí)行排放標(biāo)準(zhǔn)的重要性,突出了行業(yè)發(fā)展的重點方向。報告全面分析了2023-2...

  • 2024

    9-23

    我國是全球機動車產(chǎn)銷第一大國,移動源污染已成為空氣污染的重要來源,是造成我國大中城市細顆粒物污染的重要原因。因此,解決機動車排放問題是實現(xiàn)“美麗中國”空氣質(zhì)量改善目標(biāo)、保護人群健康及提升最普惠的民生福祉的關(guān)鍵。排放標(biāo)準(zhǔn)升級是機動車污染減排的主要驅(qū)動力。2024年6月歐盟正式發(fā)布的歐7標(biāo)準(zhǔn)代表了當(dāng)前的機動車排放標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)不僅升級了尾氣排放的污染物檢測項目與限值(如表1和表2),還新提出了制動系統(tǒng)和輪胎顆粒物排放檢測要求(如表3)。我國生態(tài)環(huán)境部2020年10月牽頭開啟國七排放...

  • 2024

    9-18

    一、概述碳計量儀器是開展碳排放監(jiān)測的硬件基礎(chǔ),加強碳計量儀器的研制和推廣應(yīng)用,有助于提高我國實現(xiàn)“雙碳”目標(biāo)的自主保障能力,提升我國在全球碳計量領(lǐng)域的地位。目前,我國碳計量儀器研制尚處于起步階段,碳計量儀器長期依賴進口,各類高準(zhǔn)確度儀器尤其是碳計量儀器需求不斷增加,亟需加快儀器研發(fā)進度,加力支持碳計量儀器研發(fā)應(yīng)用,著力補齊短板,提高我自主保障能力和國際市場競爭力。為提高我國碳計量儀器裝備水平,國家發(fā)展改革委、市場監(jiān)管總局、生態(tài)環(huán)境部近日聯(lián)合印發(fā)《關(guān)于進一步強化碳達峰碳中和標(biāo)準(zhǔn)...

  • 2024

    9-12

    隨著國際海事組織“IMO2020限硫令”的發(fā)布,廢氣中SO2、CO2等組分排放濃度的測定成了判斷船舶排放是否合格的依據(jù),安裝船舶廢氣清洗系統(tǒng)(脫硫塔)成了很多大型遠洋船舶的選擇。早在2015年7月,歐盟委員會就正式提出了航運溫室氣體排放“監(jiān)控、報告、驗證”(MRV)法規(guī),明確要求停靠歐盟港口的5000總噸及以上的所有船舶(軍船、漁船、非機動船等特殊船除外)的船公司/船東需持有由第三方機構(gòu)驗證過的CO2監(jiān)控計劃和排放報告符合文件,且要接受港口國相關(guān)主管機關(guān)的檢查和審查。2023...

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