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一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中，氧污染會引發不必要的氧化反應，導致集成電路和硅片產生缺陷，進而破壞薄膜結構的完整性，嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此，半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控，即便是微量氧氣（低至ppm級）也可能顯著損害元件性能。目前，半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點：需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測；需支持真空環境下的持續氧濃度監測；需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中，氧...
6-15
煤氣熱值是燃氣zui主要的質量指標，及時準確地測量煤氣熱值,對于合理生產和有效利用燃氣能源有著重要的意義。因此，冶金行業歷來都很重視對煤氣熱值的監測。熱值分析是煤氣混合站中較為關鍵的環節，擔負著煤氣混合站的一個重要工藝值---煤氣熱值的檢測，對于保證工藝設備正常、提高燃燒效率和改善煉鋼品質起著舉足輕重的作用。煤氣混合站通常是將高爐煤氣與焦爐煤氣加壓后再混合，形成穩定的混合煤氣送往工業用戶作為生產燃料，混合煤氣熱值要求穩定在一定值。為保證煤氣熱值的穩定，就必須測量混合煤氣的熱值...
6-26
介紹一種采用新型非分光紅外NDIR、熱導TCD技術以及電化學傳感器的多組分煤氣成分快速分析儀器。該分析儀通過采用基于新型電調制紅外光源的多通道紅外氣體探測技術，配合MEMS技術的熱導TCD分析，長壽命電化學O2、H2S傳感器，可以在一臺儀器中實現煤氣成分中CO2、CO、CH4，O2，H2S，H2等氣體的實時快速測量相關鏈接：Gasboard-3000紅外煙氣分析儀Gasboard-3020紅外氣體分析儀Gasboard-32XX紅外沼氣分析儀Gasboard-7000熱導氣體...
3-26
本文章為紅外分析儀器工作基本原理.紅外氣體分析儀器技術根據光源調制的類型可以分為機械調制和電調制兩種模式.機械調制的特點是調制深度深,頻率可以很高.但是結構復雜,價格也相對焦貴,電調制的特點是沒有移動部件,光源壽命長.功耗低,價格也相應低些.相關鏈接：Gasboard-3000紅外煙氣分析儀Gasboard-3020紅外氣體分析儀Gasboard-32XX紅外沼氣分析儀Gasboard-7000熱導氣體分析儀Gasboard-4（5）020汽油車排氣分析儀Gasboard-3...
3-26
介紹一種采用新型非分光紅外NDIR以及電化學傳感器的沼氣成分分析儀器。該分析儀通過采用基于新型電調制紅外光源的多通道紅外氣體探測技術，配合長壽命電化學O2、H2S傳感器，可以在一臺儀器中實現對垃圾填埋場、污水處理廠、發酵過程等沼氣成分中CO2、CH4、O2、H2S等氣體的實時快速測量相關鏈接：Gasboard-3000紅外煙氣分析儀Gasboard-3020紅外氣體分析儀Gasboard-32XX紅外沼氣分析儀Gasboard-7000熱導氣體分析儀Gasboard-4（5）...
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