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半導(dǎo)體行業(yè)微量氧分析儀的自主研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新

一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測的重要性與難點在半導(dǎo)體制造過程中,氧污染會引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進行嚴(yán)格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測主要面臨以下技術(shù)難點:需實現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測;需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運行。在眾多氣體檢測技術(shù)中,氧...

  • 2021

    9-7

    隨著我國機動車保有量的增加,大氣污染正在向工業(yè)燃煤污染與機動車排氣污染復(fù)合型發(fā)展,機動車排氣污染對顆粒物和氮氧化物的貢獻率較大,尤其是非道路移動柴油機械的排放,對我國環(huán)境空氣質(zhì)量的影響日益凸顯,成為我國污染治理的重中之重。而污染治理,當(dāng)以檢測為先。一、政策標(biāo)準(zhǔn)介紹我國非道路移動柴油機械的排放檢測雖起步較晚,但在政策標(biāo)準(zhǔn)的頒布和實施上也形成了體系。生態(tài)環(huán)境部2018年第34號公告發(fā)布《非道路移動機械污染防治技術(shù)政策》,各地也紛紛出臺機動車和非道路移動柴油機械防治污染條例或辦法,...

  • 2021

    8-12

    一、非道路國四排放法規(guī)背景及要求HJ1014-2020《非道路柴油移動機械污染物排放控制技術(shù)要求》于2020年12月28日發(fā)布,要求從2022年12月1日起,所有生產(chǎn)、進口和銷售的560KW(含560KW)的非道路移動機械及裝用的柴油機,必須符合本標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布,為國內(nèi)非道路機械主機廠設(shè)定了鬧鐘,國四產(chǎn)品的準(zhǔn)備正式步入倒計時階段。該標(biāo)準(zhǔn)是對2014年頒布的GB20891-2014《非道路移動機械用柴油機排氣污染物排放限值及測量方法(中國DI三、四階段)》第四階段內(nèi)容的補充。...

  • 2021

    6-8

    肺功能檢查儀進行檢測校準(zhǔn)的必要性慢性呼吸系統(tǒng)疾病排在心腦血管病、癌癥之后,成為我國居民慢性病致死的第三位死因。肺功能檢查作為慢性氣道等呼吸疾病診斷的金標(biāo)準(zhǔn)之一,是慢性阻塞性肺疾病防治和檢查的關(guān)鍵。肺功能檢查儀是檢測肺臟吸入、呼出氣體容量和速率,從而了解呼吸生理和呼吸功能是否正常的一種設(shè)備,主要由肺量計、氣體分析器等部件組成。肺功能檢查儀對于早期檢出肺及氣道的病變,診斷病變部位和評估疾病的嚴(yán)重程度具有重要的臨床意義。在鐘南山院士、王辰院士等國內(nèi)專家的推動下,“要像測量血壓一樣,...

  • 2021

    3-12

    隨著我國機動車保有量的增加,大氣污染正在向工業(yè)燃煤污染與機動車排氣污染復(fù)合型發(fā)展,機動車排氣污染對顆粒物和氮氧化物的貢獻率較大,尤其是非道路移動柴油機械的排放,對我國環(huán)境空氣質(zhì)量的影響日益凸顯,成為我國污染治理的重中之重。而污染治理,當(dāng)以檢測為先。一、政策標(biāo)準(zhǔn)介紹我國非道路移動柴油機械的排放檢測雖起步較晚,但在政策標(biāo)準(zhǔn)的頒布和實施上也形成了體系。生態(tài)環(huán)境部2018年第34號公告發(fā)布《非道路移動機械污染防治技術(shù)政策》,各地也紛紛出臺機動車和非道路移動柴油機械防治污染條例或辦法,...

  • 2021

    2-23

    為規(guī)范行業(yè)發(fā)展,確保消費者利益,由中國空氣凈化行業(yè)聯(lián)盟發(fā)起、中國質(zhì)量檢驗協(xié)會批準(zhǔn)的《便攜式甲醛檢測儀》(T/CAQI140—2020)團體標(biāo)準(zhǔn)于2021年2月6日實施。基于多年電化學(xué)甲醛氣體傳感技術(shù)的研發(fā)及較早產(chǎn)業(yè)化的客戶端配套經(jīng)驗,四方光電股份有限公司受邀參與了此次《便攜式甲醛檢測儀》標(biāo)準(zhǔn)的編制。標(biāo)準(zhǔn)適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量測試用便攜式甲醛檢測儀,不適用于在腐蝕性和爆炸性氣體特殊環(huán)境場所。其中,針對消費者比較關(guān)注的便攜式甲醛檢測儀的檢測性能按檢測精度進行了A\B\C三個等級的劃分...

  • 2020

    11-4

    隨著智能家居的不斷深入發(fā)展,吸塵器和掃地機器人逐漸普及。目前吸塵器和掃地機器人的發(fā)展已經(jīng)從功能性向智能型轉(zhuǎn)型,由基本的清掃功能,到清掃效率、清掃質(zhì)量的提升,清掃規(guī)劃類的產(chǎn)品已經(jīng)成為行業(yè)的標(biāo)配,用戶體驗明顯提升。圍繞著傳感器、算法方面的提升,清掃規(guī)劃類產(chǎn)品再度引爆了掃地機器人市場,使得吸塵器和掃地機器人市場進入智能新時代。吸塵器/掃地機器人如何實現(xiàn)智能化?實現(xiàn)吸塵器/掃地機器人的智能化,關(guān)鍵在于傳感器,其內(nèi)置的灰塵傳感器可以智能識別地面塵埃或垃圾的污染程度,幫助設(shè)備自動調(diào)節(jié)風(fēng)機...

  • 2020

    11-3

    隨著第三產(chǎn)業(yè)的興起,飲食服務(wù)業(yè)迅速發(fā)展,給人們的生活帶來了便利,然而油煙的直接排放也構(gòu)成了對大氣環(huán)境的污染。油煙氣體組分復(fù)雜,其中所包含的顆粒物和揮發(fā)性氣態(tài)有機物是霧霾形成的重要原因之一。為了切實推動大氣環(huán)境治理工作,油煙治理勢在必行。油煙在線排放監(jiān)測是油煙治理邁出的重要一步餐飲油煙排放具有數(shù)量多、分布廣的特點,傳統(tǒng)的油煙排放監(jiān)管多為政府相關(guān)部門定期上門抽查,但這種方式存在成本高、效率低的問題,無法*且高效的解決油煙污染難題,因此餐飲油煙“久治不愈”。近年來,在各項政策的推動...

  • 2020

    10-22

    四方光電在線粒子計數(shù)器在潔凈室的創(chuàng)新應(yīng)用在醫(yī)藥、電子、食品、航天、生物工程、精密加工等領(lǐng)域,相關(guān)生產(chǎn)作業(yè)過程中環(huán)境空氣需要滿足較高潔凈度的要求,并符合相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),例如制藥行業(yè)需要符合GMP標(biāo)準(zhǔn)。客戶一般采用粒子計數(shù)器來針對作業(yè)環(huán)境進行檢測,在國內(nèi)相關(guān)檢測設(shè)備需要符合國家計量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)程的技術(shù)要求。以往客戶僅在項目驗收時采用手持式粒子計數(shù)器針對作業(yè)廠區(qū)內(nèi)相關(guān)區(qū)域進行潔凈度檢測,而工程驗收合格投入使用后,則只會定期安排人工進行...

  • 2020

    9-27

    肺功能檢查的重要性慢性呼吸系統(tǒng)疾病是以慢性阻塞性肺疾病(以下簡稱慢阻肺)、哮喘等為代表的一系列疾病,是嚴(yán)重影響我國居民健康的四類重大慢性病之一,我國40歲及以上人群慢阻肺患病率達到13.6%,總患病人數(shù)超過1億,哮喘患者超過3000萬,嚴(yán)重影響群眾身體健康和生活質(zhì)量,因此呼吸類疾病患者的檢查和科學(xué)管理尤為重要。肺功能檢查作為慢性氣道等呼吸疾病診斷的金標(biāo)準(zhǔn)之一,是慢性呼吸系統(tǒng)疾病防治和檢查的關(guān)鍵。2019年中國政府的《健康中國行動(2019-2030年)》中明確提出,到2022...

  • 2020

    9-4

    四方光電股份有限公司(以下簡稱四方光電)將于9月8日科創(chuàng)板首.發(fā)上會。據(jù)悉,四方光電是一家專業(yè)從事氣體傳感器、氣體分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高.新.技.術(shù).企業(yè),根據(jù)工信部電子信息司、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院編寫的《智能傳感器型譜體系與發(fā)展戰(zhàn)略白.皮.書》,公司已成為國內(nèi)“氣體和顆粒物傳感器型譜體系”的主要廠商和代表性企業(yè)。在環(huán)境監(jiān)測及工業(yè)過程氣體分析儀器方面,四方光電基于突出的自主創(chuàng)新及新產(chǎn)品開發(fā)能力,憑借微流紅外、熱電堆紅外、紫外差分吸收光譜氣體傳感技術(shù)及煤氣成分及熱值分...

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