氧化鋯微量氧分析儀

簡要描述：氧化鋯微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術(shù)，實現(xiàn)工業(yè)過程中ppm級別氧濃度的測量，具有測量精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域，為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計，體積小巧，便于在復(fù)雜工況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機(jī)交互體驗。

產(chǎn)品型號：Gasboard-3052
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2025-11-13
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產(chǎn)品分類

Product classification

半導(dǎo)體行業(yè)氣體分析儀

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氧化鋯微量氧分析儀產(chǎn)品概述

氧化鋯微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術(shù)，實現(xiàn)工業(yè)過程中ppm級別氧濃度的測量，具有測量精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域，為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計，體積小巧，便于在復(fù)雜工況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機(jī)交互體驗。

產(chǎn)品特性

測量精度高，ppm級別測量

響應(yīng)速度快，秒級出數(shù)

產(chǎn)品穩(wěn)定性好，無需定期校準(zhǔn)

緊湊型模塊化設(shè)計，體積小，安裝方便

人機(jī)交互強(qiáng)，顯示內(nèi)容豐富、直觀，操作方便

抗干擾能力強(qiáng)，對其他氣體的交叉敏感性低

報警功能：當(dāng)氧氣濃度偏離報警值時將發(fā)出報警，報警值可調(diào)

技術(shù)參數(shù)

測量原理	極限電流型氧化鋯法
量程范圍	0~10ppm；0~100ppm；0~1000ppm；自動切換
測量精度	≤±2%F.S.
分辨率	0.1ppm
響應(yīng)時間	T90≤10s
工作溫度	0~50℃
相對濕度	0~95%RH
模擬電流輸出	4~20mA
模擬電壓輸出	0~1，0~5，0~10 V DC
報警輸出	2路報警，1路故障報警
通訊接口	RS-232，RS-485
電源	12V DC/20V AC，50Hz
產(chǎn)品尺寸(mm)	儀表(LWH)：17810795；傳感器(DL)：38.171.5

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